直接描绘装置用之图形使用者介面装置、直接描绘系统、描绘区域设定方法及记录媒体

摘要

明提供一种直接描绘装置用之图形使用者介面装置、直接描绘系统、描绘区域设定方法及记录媒体，能以较少之作业量且直观地设定圆形状之基板上之圆弧带状区域作为直接描绘装置之描绘区域或非描绘区域。

主权项

一种直接描绘装置用之图形使用者介面装置，其特征在于，其系于对形成于圆形状之基板之表面的光阻膜描绘图案之直接描绘装置中使用，用来设定基板内之圆弧带状区域作为描绘区域或非描绘区域，该图形使用者介面装置具备：显示部，其具有画面；操作部，其操作上述显示部之上述画面；及显示控制部，其控制上述显示部之画面显示；且上述显示控制部具有：周资讯输入部，其于上述显示部之上述画面上显示用于输入与圆弧带状区域之圆周方向之长度相关的资讯之输入区域；径资讯输入部，其于上述显示部之上述画面上显示用于输入基板之径向上之圆弧带状区域之位置资讯的输入区域；宽度资讯输入部，其于上述显示部之上述画面上显示用于输入圆弧带状区域之径向上之宽度资讯的输入区域；描绘指示输入部，其于上述显示部之上述画面上显示用于输入由上述径资讯输入部、上述周资讯输入部及上述宽度资讯输入部设定的圆弧带状区域为描绘区域或非描绘区域之任一者的输入区域；以及确认显示部，其于显示部之画面上显示基板外形、及上述圆弧带状区域，上述圆弧带状区域系基于由操作部分别输入至上述径资讯输入部、上述周资讯输入部、上述宽度资讯输入部及上述描绘指示输入部的资讯而得者。