发明名称 | 封装基板之制法 | ||
摘要 | 一种封装基板之制法,系蚀刻一板体以形成凹槽,且该凹槽具有缓冲部,再于该凹槽中形成线路。本发明藉由蚀刻方式形成凹槽,以取代知准分子雷射方式形成凹槽,故能增加凹槽之高宽比,而避免金属层厚度不足之问题,以达到提高线路良率及高制程能力指数之目的。 | ||
申请公布号 | TWI527112 | 申请公布日期 | 2016.03.21 |
申请号 | TW102109164 | 申请日期 | 2013.03.15 |
申请人 | 欣兴电子股份有限公司 | 发明人 | 程石良;简瑞荣 |
分类号 | H01L21/306(2006.01) | 主分类号 | H01L21/306(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 陈昭诚 | |
主权项 | 一种封装基板之制法,系包括:提供一板体,且于该板体上以雷射方式形成开孔,且该开孔之剖面系呈V字形;以及蚀刻移除该开孔中之部分板体材质以形成第一凹槽,并使该第一凹槽具有缓冲部。 | ||
地址 | 桃园市桃园区龟山工业区兴邦路38号 |