发明名称 封装基板之制法
摘要 一种封装基板之制法,系蚀刻一板体以形成凹槽,且该凹槽具有缓冲部,再于该凹槽中形成线路。本发明藉由蚀刻方式形成凹槽,以取代知准分子雷射方式形成凹槽,故能增加凹槽之高宽比,而避免金属层厚度不足之问题,以达到提高线路良率及高制程能力指数之目的。
申请公布号 TWI527112 申请公布日期 2016.03.21
申请号 TW102109164 申请日期 2013.03.15
申请人 欣兴电子股份有限公司 发明人 程石良;简瑞荣
分类号 H01L21/306(2006.01) 主分类号 H01L21/306(2006.01)
代理机构 代理人 陈昭诚
主权项 一种封装基板之制法,系包括:提供一板体,且于该板体上以雷射方式形成开孔,且该开孔之剖面系呈V字形;以及蚀刻移除该开孔中之部分板体材质以形成第一凹槽,并使该第一凹槽具有缓冲部。
地址 桃园市桃园区龟山工业区兴邦路38号