发明名称 用于接合应用之经涂覆线材
摘要 明系关于一种接合线材,其包括:一具有一表面(15)之芯(2),其中该芯(2)包括选自由铜及银组成之群的芯主要组分;及一至少部分覆盖在该芯(2)之表面(15)上的涂覆层(3),其中该涂覆层(3)包括选自钯、铂、金、铑、钌、锇及铱之群的涂覆组分;其中该涂覆层系藉由将液体膜沉积在一线材芯前驱物上而施用于该芯之表面上,其中该液体包含涂覆组分前驱物,及其中该沉积膜经加热以将该涂覆组分前驱物分解成金属相。
申请公布号 TWI526572 申请公布日期 2016.03.21
申请号 TW102142507 申请日期 2013.11.21
申请人 贺利氏材料科技公司 发明人 鲁卡斯 安妮特;温宙 派克;德意区 麦可;米尔克 欧根;汤玛斯 史文;史查夫 优尔根
分类号 C23C18/08(2006.01);H01B1/02(2006.01);H01B5/02(2006.01);H01B13/00(2006.01);H01L21/60(2006.01);H01L23/49(2006.01) 主分类号 C23C18/08(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项 一种制造接合线材的方法,该接合线材包括具有表面之芯,其中该芯包括选自由铜及银组成之群的芯主要组分;及至少部分覆盖在该芯之表面上的涂覆层,其中该涂覆层包括选自钯、铂、金、铑、钌、锇及铱之群的涂覆组分,该方法包括以下步骤:a.提供以铜或银作为芯主要组分之线材的芯前驱物;b.沉积材料以形成位于该芯前驱物上的层,其中该沉积材料包括选自钯、铂、金、铑、钌、锇及铱之群的涂覆组分,其中步骤b系藉由将液体膜沉积在该线材芯前驱物上而进行,其中该液体包含涂覆组分前驱物,及其中该沉积膜经加热以将该涂覆组分前驱物分解成金属相;其中该涂覆组分前驱物包括三级羧酸之盐。
地址 德国