气相成长装置

摘要

自公转型之气相成长装置，可以使外齿轮和内齿轮自动地成为咬合状态，且，在复数外齿轮构件(设置成可以在圆盘状基座之外周部周方向旋转)和环状固定内齿轮构件(具备有与该外齿轮构件咬合之内齿轮)至少任一齿轮构件之齿侧面设置有导引斜面，当该两个齿轮构件从非咬合状态位置移动至咬合状态位置时，与另一齿轮构件的齿轮面抵接，以将该两个齿轮构件导引至咬合状态。

主权项

一种气相成长装置，系具有自公转机构者，并设有：圆盘状基座，系设置成可在处理室内旋转；复数外齿轮构件，系设置成可在该基座之外周部周方向旋转；和环状固定内齿轮构件，系具备有可与该外齿轮构件咬合之内齿轮；其特征在于：使上述基座和上述内齿轮构件之至少任一方，形成可在旋转轴线方向移动到上述外齿轮构件和上述内齿轮构件互相咬合之咬合状态之位置、及两个齿轮构件在旋转轴线方向互相离开之非咬合状态之位置，并且在两个齿轮构件之至少任一齿轮构件之齿侧面设置导引斜面，其系当该两个齿轮构件从上述非咬合状态之位置移动到上述咬合状态之位置时，与另一齿轮构件之齿侧面抵接，俾将两个齿轮构件导引至上述咬合状态。