| 发明名称 |
薄膜的制造方法及使用该方法的显示器金属线薄膜电晶体阵列面板及该面板的制造方法 |
| 摘要 |
本发明之一例示性实施例之一种形成一薄膜的方法系包括在约1.5 W/cm2至约3 W/cm2之范围内之一功率密度下且在约0.2 Pa至约0.3 Pa之范围内之一惰性气体的压力下形成该薄膜。此制程产生一非晶形金属薄膜障壁层，其防止来自邻接层的不良扩散，即便在此障壁层比许多知障壁层薄时亦如此。 |
| 申请公布号 |
TWI527118 |
申请公布日期 |
2016.03.21 |
| 申请号 |
TW099132873 |
申请日期 |
2010.09.28 |
| 申请人 |
三星显示器有限公司 |
发明人 |
金柄范;朴帝亨;尹在亨;宋溱镐;金锺仁 |
| 分类号 |
H01L21/3205(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/84(2006.01);H01L27/12(2006.01);G02F1/136(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/3205(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文;林嘉兴 |
| 主权项 |
一种经由溅镀在一基板上形成一障壁层的方法，其包含：在约1.5W/cm2至约3W/cm2之范围内之一功率密度下且在约0.2Pa至约0.3Pa之范围内之一惰性气体的一压力下形成该障壁层，其中该障壁层具有一非晶形结构，且其中该障壁层系安置于一矽层及一铜层之间。
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| 地址 |
南韩 |
