发明名称 用于回收基材之方法
摘要 明系关于一种回收至少一种电磁辐射波长实质上可穿透之材料之支撑基材(25)之方法,该方法包含:
申请公布号 TWI527099 申请公布日期 2016.03.21
申请号 TW099143806 申请日期 2010.12.14
申请人 S O I 矽科技绝缘体工业公司 发明人 贝尔 安妮 莱利
分类号 H01L21/30(2006.01);H01L21/263(2006.01) 主分类号 H01L21/30(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项 一种用于回收至少一种电磁辐射波长实质上可穿透之材料之支撑基材(25)之方法,该方法包含:a)提供起始基材(10);b)于具有起始粗糙度之支撑基材(25)之接合面上形成中间层(15),该中间层(15)系至少一种电磁辐射波长实质上可穿透之材料,c)于起始基材(10)之接合面(10b)及/或中间层(15)上形成电磁辐射吸收层(24),该电磁辐射吸收层系吸收该至少一种电磁辐射波长之材料,d)经由电磁辐射吸收层(24)将起始基材(10)接合至支撑基材(25),及e)以具有该至少一种电磁辐射波长之电磁辐射通过支撑基材(25)及中间层照射电磁辐射吸收层(24),以因电磁辐射吸收层(24)之化学及/或物理变化而使支撑基材(25)自起始基材分离。
地址 法国