载具监控系统

摘要

作目的在于提供一种载具监控系统，特别系指一种利用感测器监控载具内部微环境的监控系统。所述的载具监控系统可监测载载内部容置空间微环境之动态即时现况，并且具有萤幕显示之功能，可广泛应用于多种半导体晶圆与光罩载具之使用；能有效控管产品品质，减少制程瑕疵与错误的产生。

主权项

一种载具监控系统，其包含：一载具，具有一容置空间及一外表面，其中该容置空间系用以放置光罩或晶圆；一感测器，设置于该容置空间内；以及一监控模组，设置于该外表面上，该监控模组包含：一微处理器；一显示模组，与该微处理器电性连接；一指示灯，与该微处理器电性连接一连接器，分别与该微处理器及该感测器电性连接；以及一电池，与该微处理器、该显示模组、该指示灯及该连接器电性连接。