| 摘要 |
(과제) 에칭 내성이 높고, 또한 해상성 및 박리성이 우수한 감광성 수지 조성물을 사용한 유리 가공 방법을 제공한다. (해결 수단) 본 발명에 관련된 유리 가공 방법은, 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물의 도포막을 유리 기판 상에 형성하는 도포막 형성 공정과, 상기 도포막을 선택적으로 노광하는 노광 공정과, 노광 후의 상기 도포막을 현상하여 수지 패턴을 형성하는 현상 공정과, 상기 수지 패턴을 마스크로 하여 상기 유리 기판을 에칭하는 에칭 공정과, 상기 수지 패턴을 박리하는 박리 공정을 포함한다. |
