| 主权项 |
一种用于处理太阳能电池之方法，其包括：- 提供一垂直炉，其组态供批次制程，该炉拥有一实质圆柱形，垂直延伸制程室，其调适成收受供积体电路制程的相互隔开圆形半导体晶圆的阵列；- 提供复数个太阳能电池基板，其拥有待处理的第一表面，其中沿着第一表面延伸的太阳能电池基板尺寸小于圆形半导体晶圆的对应尺寸；- 构成太阳能电池基板的一制程室加载组态，其中该加载组态包括太阳能电池基板的多重阵列，其中每一阵列包括复数个太阳能电池基板，其为实质垂直取向且实质水平隔开，其中该等个别阵列是在沿着垂直炉的制程室中心轴的复数个阶层上提供，而且其中容置在该制程室的许多太阳能电池基板实质大于许多圆形半导体晶圆，其中该构成步骤更包含：将每一阵列的复数个太阳能电池基板载入在与制程室位置水平移位位置上的单独石英舟，该等太阳能电池基板为实质垂直取向且实质水平隔开，在该等阶层将每一石英舟及复数阵列插入至一基板架，以及将该基板架以及复数个装载有该等太阳能电池基板的石英舟载入至制程室；以及- 该等太阳能电池基板历经该制程室处理。
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