探针卡总成

摘要

包含奈米碳管的奈米碳管柱可被用作导电接触探针。该柱可以成长，且当该柱成长时用于成长该柱之制程参数可以变化以沿着该柱的成长长度变化该柱的机械特性。金属然后沉积于该柱的内部及/或外部上，其可增强该柱的导电性。该金属化柱可耦合至布线基材的端子。接触尖端可形成在或附接至该柱的端点。该布线基材可与其他电子组件结合以形成电气设备，其中该奈米碳管柱的功能可作为接触探针。

主权项

一种探针卡总成，包含：包含一电气介面的一布线基材，该电气介面系供介接至一测试器，而该测试器用以控制一受测电子装置之测试作用；及包含多数探针的一探针基材，该等多数探针以一对应至该受测电子装置之数个端子的图案配置，各个探针包含一奈米碳管柱，该奈米碳管柱包含一成束之奈米碳管，数个黏着材料接合件，各黏着材料接合件将该等奈米碳管柱中之一者结合至该探针基材之多个端子中之一者，各个黏着材料接合件包含有烧结奈米粒子之一质块，而该质块熔接至该等奈米碳管柱中之该一者及该等端子中之该一者，其中，该探针基材机械性地耦合至该布线基材，而且该等探针经由该探针基材及该布线基材电气连接至该电气介面。