发明名称 半导体元件安装装置
摘要 半导体元件安装装置,其包括一影像感测单元、一电极侦测单元及一判定单元。该影像感测单元经组态以感测配置于一半导体元件之一安装表面上的复数个电极。该电极侦测单元经组态以识别基于该等电极之功能而配置之复数个群组中之每一群组中的该等电极,及藉由使用由该影像感测单元所获得之影像资料,针对该等电极中之每一者侦测是否缺少该电极。该等群组中之每一者具有一预设之可允许的缺少电极数目。该判定单元经组态以基于由该电极侦测单元侦测出之该等缺少电极之该数目而判定该半导体元件之品质,该判定单元于存在一群组其缺少之该等电极多于针对该群组所预设之该可允许缺少电极数目之情况下判定该半导体元件系一有缺陷的半导体元件,且在其他情况下,该判定单元判定该半导体元件系一无缺陷的半导体元件。
申请公布号 TWI526682 申请公布日期 2016.03.21
申请号 TW102127662 申请日期 2013.08.01
申请人 山叶发动机股份有限公司 发明人 加藤宽;尾身幸治
分类号 G01N21/88(2006.01) 主分类号 G01N21/88(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项 一种半导体元件安装装置,其特征为包含:一影像感测单元,其经组态以感测配置于一半导体元件之一安装表面上的复数个电极;一电极侦测单元,其经组态以使用由该影像感测单元所获得之影像资料,针对上述电极中之每一者侦测是否缺少上述电极;及一判定单元,其经组态以基于由该电极侦测单元侦测出之上述电极之缺少数目,判定该半导体元件之品质;上述电极基于功能而预先分为复数个群组;上述群组包括:一第一群组,其仅包括禁止缺少之上述电极;一第二群组,其仅包括用于接地之上述电极;及一第三群组,其仅包括用于耦接强化之上述电极;于上述第二群组及上述第三群组中,预设有可允许缺少上述电极之数目;该可允许缺少之数目系设定为对应于上述电极之功能的最大值;该判定单元于满足存在一群组其缺少之上述电极多于针对该群组所预设之该可允许缺少之数目之情况、及所有群组中之缺少上述电极的总数目大于一预定之判断数目之情况中之至少一方之条件时,判定系有缺陷,而在其他情况下,则判定系无缺陷。
地址 日本