发明名称 |
压电振动片,压电振动子,压电振动片的制造方法,及压电振动子的制造方法 |
摘要 |
电振动片中,至少形成有一对的激发电极,为了使前述一对的激发电极与外部电极电气机械性地接合,而形成有分别从前述一对的激发电极引出之至少一对的拉出电极。前述一对的拉出电极各个的前端部系具有被拉出至前述压电振动片的一主面的一端部近旁的连接电极。在前述各个的连接电极的上面形成有接合于外部电极的第1金属膜。在前述第1金属膜,其上面具有2个以上的凸部,比前述各个的连接电极还要表面粗度粗、面积小,前述凸部的剖面形状系形成曲面状。
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申请公布号 |
TWI527372 |
申请公布日期 |
2016.03.21 |
申请号 |
TW101106549 |
申请日期 |
2012.02.29 |
申请人 |
大真空股份有限公司 |
发明人 |
森本贤周;阪本和靖 |
分类号 |
H03H9/125(2006.01);H03H9/15(2006.01);H01L21/60(2006.01) |
主分类号 |
H03H9/125(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
主权项 |
一种压电振动片,其特征为:至少形成有一对的激发电极,为了使前述一对的激发电极与外部电极电气机械性地接合,而形成有分别从前述一对的激发电极拉出之至少一对的拉出电极,前述一对的拉出电极各个的前端部系具有被拉出至前述压电振动片的一主面的一端部近旁的连接电极,在前述各个的连接电极的上面形成有接合于外部电极的第1金属膜,在前述第1金属膜,其上面具有2个以上的凸部,比前述各个的连接电极还要表面粗度粗、面积小,前述凸部的剖面形状系形成曲面状,在前述第1金属膜的上面,除了前述第1金属膜的上面的中心区域,沿着前述第1金属膜的上面端部而具有2个以上的凸部。
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地址 |
日本 |