以晶轴松弛结构为基础的固态发光装置

摘要

明揭示一种用于制造具有复数个光源之一固态发光装置之方法，该方法包括以下步骤：提供具有一生长表面之一基板；在该生长表面上提供一遮罩层，该遮罩层具有透过其曝露该生长表面之复数个开口，其中该等开口中之每一者之一最大横向尺寸小于0.3 μm且其中该遮罩层可包括具有相同表面面积且包括复数个开口之一第一遮罩层部分及一第二遮罩层部分，其中该第一遮罩层部分展现该生长表面之一所曝露面积与该生长表面之一未曝露面积之间的一第一比率，且其中该第二遮罩层部分展现该生长表面之一所曝露面积与该生长表面之一未曝露面积之间的一第二比率，该第二比率不同于该第一比率；在该生长表面上在该遮罩层之该等开口中之每一者中生长一基底结构；及在该等基底结构中之每一者之表面上生长至少一个光产生量子井层。

主权项

一种用于制造具有复数个光源之一固态发光装置之方法，该方法包括以下步骤：提供具有一生长表面(204)之一基板(201)；在该生长表面上提供一遮罩层(205)，该遮罩层具有透过其曝露该生长表面(204)之复数个开口(206)，其中该等开口(206)中之每一者之一最大横向尺寸小于0.3μm且其中该遮罩层(205)包括各自包括曝露该生长表面(204)之复数个开口(206)之一第一遮罩层部分(302)及一第二遮罩层部分(303)，其中该第一遮罩层部分(302)展现该生长表面(204)之一所曝露面积与该生长表面(204)之一未曝露面积之间的一第一比率，且其中该第二遮罩层部分(303)展现该生长表面(204)之一所曝露面积与该生长表面(204)之一未曝露面积之间的一第二比率，该第二比率不同于该第一比率；在该生长表面(204)上之该遮罩层(205)之该等开口(206)中之每一者中生长一基底结构(207)；及在该等基底结构(207)中之每一者之表面上生长至少一个光产生量子井层(208)，其中该基底结构之每一者之该表面系由该至少一个光产生量子井层所完全覆盖。