钙钛矿太阳能电池的制造方法

摘要

钙钛矿太阳能电池的制造方法，包括在一透明导电基板上形成电洞传输层，之后利用两阶段真空蒸镀制程，在电洞传输层上形成钙钛矿层。随后，依序形成电子传输层与电极层。上述两阶段真空蒸镀制程，包括先在电洞传输层上真空蒸镀一第一材料，再于第一材料上真空蒸镀一第二材料，以使第一材料与第二材料临场反应成为所述钙钛矿层。

主权项

一种钙钛矿太阳能电池的制造方法，包括：在一透明导电基板上形成电洞传输层；利用两阶段真空蒸镀制程，在该电洞传输层上形成钙钛矿层；在该钙钛矿层上形成电子传输层；以及在该电子传输层上形成电极层，其中该两阶段真空蒸镀制程，包括：在该电洞传输层上真空蒸镀一第一材料；以及在该第一材料上真空蒸镀一第二材料，以使该第一材料与该第二材料反应成为该钙钛矿层，其中真空蒸镀该第二材料时，该透明导电基板的温度在室温以上。