| 摘要 |
1. Устройство для контроля формы плоских поверхностей крупногабаритных оптических зеркал, содержащее оптически связанные точечный источник монохроматического излучения, регистратор интерференционной картины и систему формирования рабочего и опорного волновых фронтов, входящие в интерферометр, корпус которого размещен с возможностью юстировочных поворотов относительно направления распространения излучения, а также установленные по ходу излучения в рабочей ветви системы формирования фронтов интерферометра эталонное вспомогательное зеркало со сферической рабочей поверхностью и оправу для контролируемого зеркала, размещенные в базировочных приспособлениях, снабженных механизмами юстировочных перемещений последних, отличающееся тем, что эталонное вспомогательное зеркало дополнительно снабжено внеосевой асферической рабочей поверхностью, выполнено двояковогнутым с расположенными на его противоположных сторонах соответственно сферической и внеосевой асферической поверхностями и установлено в базировочном приспособлении с возможностью поворота на 180° вокруг его оси в диаметральной плоскости.2. Устройство для контроля формы плоских поверхностей по п. 1, отличающееся тем, что внеосевая асферическая поверхность эталонного вспомогательного зеркала выполнена в виде внеосевой параболической поверхности.3. Устройство для контроля формы плоских поверхностей по п. 2, отличающееся тем, что эталонное вспомогательное зеркало размещено своей внеосевой параболической поверхностью в рабочей ветви интерферометра и ориентировано так, что фокус параболической поверхности совмещен с точечным источником из |
