摘要 |
저온 소결법을 이용한 전극 제조장치는 금속 나노입자 잉크를 형성하는 금속 나노잉크 형성부, 상기 금속 나노입자 잉크를 공급하는 금속 나노잉크 공급부, 베이스 기판을 공급하는 기판 공급부, 및 전극을 형성하는 전극 형성부를 포함한다. 상기 전극 형성부는 금속패턴 형성 유닛, 세척 유닛 및 저온소결 유닛을 포함한다. 상기 금속패턴 형성 유닛은 상기 베이스 기판 상에 상기 금속 나노입자 잉크로 금속 패턴을 형성한다. 상기 세척 유닛은 상기 금속 패턴을 세척한다. 상기 저온소결 유닛은 상기 금속 패턴을 저온 소결하여 전극을 형성한다. |