| 摘要 |
(A) 일반식 (1)로 표시되는 폴리실록산과, (B) 불순물 확산 성분을 함유하는 불순물 확산 조성물.(식 중, R은 탄소수 6 내지 15의 아릴기를 나타내고, 복수의 R은 각각 동일할 수도 상이할 수도 있다. R는 수산기, 탄소수 1 내지 6의 알킬기, 탄소수 1 내지 6의 알콕시기, 탄소수 2 내지 10의 알케닐기, 탄소수 2 내지 6의 아실기, 탄소수 6 내지 15의 아릴기 중 어느 하나를 나타내고, 복수의 R는 각각 동일할 수도 상이할 수도 있다. R및 R는 수산기, 탄소수 1 내지 6의 알킬기, 탄소수 1 내지 6의 알콕시기, 탄소수 2 내지 10의 알케닐기, 탄소수 2 내지 6의 아실기 중 어느 하나를 나타내고, 복수의 R및 R는 각각 동일할 수도 상이할 수도 있다. n:m=95:5 내지 25:75이다.) 반도체 기판에의 우수한 인쇄성, 불순물 확산성을 갖고, 또한 소성, 확산 공정에서 균열이 발생하기 어렵고, 소성 후에 다른 불순물 확산제에 대하여 충분한 마스크성을 갖는 소성 막이 되는 불순물 확산 조성물을 제공한다. |
