Blockierverstärkendes Material für Ionenpumpe

摘要

Ionenzerstäuberpumpe (150) zum Pumpen von Medium aus einem zu evakuierenden Raum (180), wobei die Ionenzerstäuberpumpe (150) eine Pumpenwandung (192), die eine Pumpkammer (182) begrenzt und einen Pumpeinlass (184) zum Koppeln mit dem zu evakuierenden Raum (180) aufweist, und eine Blockiereinrichtung (190) zum Blockieren eines Eindringens von in der Pumpkammer (182) befindlichen Partikeln in den zu evakuierenden Raum (180) aufweist, wobei die Blockiereinrichtung (190) ein blockierverstärkendes Material aufweist.