摘要 |
Vorrichtung (1) zum Wandeln einer Kraft (22) in ein elektrisches Signal, insbesondere piezoresistiver Kraftsensor, mit einem flächigen Substrat (10) und einer darauf aufgebrachten und vorzugsweise strukturierten sensitiven Schicht (12), die eine in die sensitive Schicht (12) eingeleitete Kraft (22) in ein elektrisches Signal wandelt, wobei die Vorrichtung (1) ein Krafteinleitungselement (20) aufweist, das über mindestens eine vorgegebene und abgegrenzte Krafteinleitungsfläche (40, 42, 44) die gesamte Kraft (22) des Krafteinleitungselements (20) flächig in die sensitive Schicht (12) einleitet, dadurch gekennzeichnet, dass das Krafteinleitungselement (20) die Kraft (22) an drei voneinander beabstandeten Positionen in die sensitive Schicht (12) einleitet, und dass aus der sensitiven Schicht (12) mindestens zwei Messelemente gebildet sind, die bereits auf dem Substrat (10) zu einer Messbrücke verschaltet sind. |