发明名称 Vorrichtung zum Wandeln einer Kraft in ein elektrisches Signal, insbesondere piezoresistiver Kraftsensor
摘要 Vorrichtung (1) zum Wandeln einer Kraft (22) in ein elektrisches Signal, insbesondere piezoresistiver Kraftsensor, mit einem flächigen Substrat (10) und einer darauf aufgebrachten und vorzugsweise strukturierten sensitiven Schicht (12), die eine in die sensitive Schicht (12) eingeleitete Kraft (22) in ein elektrisches Signal wandelt, wobei die Vorrichtung (1) ein Krafteinleitungselement (20) aufweist, das über mindestens eine vorgegebene und abgegrenzte Krafteinleitungsfläche (40, 42, 44) die gesamte Kraft (22) des Krafteinleitungselements (20) flächig in die sensitive Schicht (12) einleitet, dadurch gekennzeichnet, dass das Krafteinleitungselement (20) die Kraft (22) an drei voneinander beabstandeten Positionen in die sensitive Schicht (12) einleitet, und dass aus der sensitiven Schicht (12) mindestens zwei Messelemente gebildet sind, die bereits auf dem Substrat (10) zu einer Messbrücke verschaltet sind.
申请公布号 DE102011105539(B4) 申请公布日期 2016.03.17
申请号 DE201110105539 申请日期 2011.06.24
申请人 SIEGERT THINFILM TECHNOLOGY GMBH 发明人 BRODE, WOLFGANG KURT;HIRSCH, DIMITRI
分类号 G01L1/18;G01L9/06;G01P15/09 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
主权项
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