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Vakuumlichtbogenbeschichtungsvorrichtung (10), bestehend aus einer eine Verdampfungsfläche (34) aufweisenden rechteckigen Kathodenplatte (32), die gegenüberliegende Längsseiten (32a, 32b) aufweist und die an den negativen Pol einer Bogenstromquelle (46) angeschlossen ist, einer Beschichtungskammer, die durch die Verdampfungsfläche (34) und ein Gehäuse (38) bestimmt ist, einem Substrathalter (6) innerhalb der Beschichtungskammer, wenigstens einer Anode (50) innerhalb der Beschichtungskammer, die einen Abstand zur Verdampfungsfläche (34) aufweist und die an den positiven Pol einer Stromquelle (46) angeschlossen ist, einem Lichtbogenzünder, um einen Lichtbogen zwischen der Kathodenplatte (32) und der Anode (50) zu zünden und einen Kathodenbrennfleck auf der Verdampfungsfläche (34) zu erzeugen, und einem magnetischen Lenksystem (60), das wenigstens aus einem ersten und einem zweiten Lenkleiter (62, 64, 66, 68), die an gegenüberliegenden Seiten (32a, 32b, 32c, 32d) der Kathodenplatte (32) angeordnet sind, wobei der erste Lenkleiter (62, 66) einen Strom (ILS, ISS) in der in Bezug auf eine Stromrichtung des zweiten Stromleiters (64, 68) Gegenrichtung führt, wobei jeder Lenkleiter in der Umgebung der Verdampfungsfläche (34) angeordnet ist, damit das von ihm erzeugte magnetische Feld (BLS, BSS) den Kathodenbrennfleck magnetisch beeinflusst, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Lenkleiter (62, 66) vom zweiten Lenkleiter (64, 68) elektrisch unabhängig ist, und die Stromstärke (I1) im ersten Lenkleiter (62, 66) relativ zur Stromstärke (I2) im zweiten Lenkleiter (64, 68) während des Betriebs der Vorrichtung (10) veränderbar ist, um den Kathodenbrennfleck zu einer Längsseite (32a, 32b) der Kathodenplatte (32) zu verschieben. |
