| 摘要 |
Anordnung zur Einspeisung von HF-Strom für drehbare Rohrkathoden in einer Vakuumkammer einer Plasma-Beschichtungsanlage, sowie einer Hochfrequenz-Stromquelle und einer innerhalb der Rohrkathode befindlichen ortsfesten und sich längs derselben ersteckenden Magnetanordnung, wobei die Hochfrequenz-Stromquelle über eine kapazitive HF-Einspeisung in Form eines Koppelkondensators mit der Rohrkathode innerhalb der Vakuumkammer gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Koppelkondensator (18) der Hochfrequenz-Einspeisung (9) aus einem Teil der Oberfläche der Rohrkathode (1) und einer Metallplatte oder -folie (10) besteht, die die Rohrkathode (1) wenigstens teilweise in einem vorgegebenen Abstand umschließt. |
