| 摘要 |
본 발명은 약액 저장 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 제 1 공급 라인에 마련되어 캐리어 가스의 유량을 측정하는 제 1 센서부와, 저장 탱크로부터 기화된 약액 가스와 캐리어 가스의 혼합 가스를 공급하는 제 2 공급 라인에 마련되어 혼합 가스의 유량을 측정하는 제 2 센서부와, 제 1 및 제 2 센서부로부터 유량 데이터를 각각 입력하여 미리 설정된 데이터로부터 캐리어 가스와 혼합 가스의 유량 및 약액의 농도를 검출하는 콘트롤러를 포함하는 농도 검출 장치 및 그 방법이 제시된다. |
