| 摘要 |
Verfahren zur Erzeugung von Mikrowellenplasmen in einer Vorrichtung, welche mindestens eine Mikrowelleneinspeisung aufweist, die von einem dielektrischen Rohr (3) umgeben ist, und die Mikrowellen erzeugt, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Mikrowelleneinspeisung und dielektrischem Rohr (3) ein dielektrisches Innenrohr (10) angebracht ist, das die Mikrowelleneinspeisung umgibt, und dass der Raum zwischen dem dielektrischem Rohr (3) und dielektrischem Innenrohr (10) von einer dielektrischen Flüssigkeit durchströmt wird, wobei die dielektrische Flüssigkeit einen kleinen dielektrischen Verlustfaktor tanδ im Bereich 10–2 bis 10–7 aufweist. |
