摘要 |
Schaffen eines optischen Systems das kompakt ist, eine kleine F-Zahl aufweist, einen Rückfokus mit geeigneter Länge sicherstellt und eine hohe optische Performanz aufweist, die in der Lage ist, die jüngsten hohen Pixeldichten zu unterstützen. Ein optisches System besteht, in der Reihenfolge ausgehend von der Vergrößerungsseite, im Wesentlichen aus einer ersten Linse L1 mit einer positiven Brechkraft und mit einer konvexen Oberfläche auf der Vergrößerungsseite, einer zweiten Linse L2 mit einer negativen Brechkraft, einer dritten Linse L3 mit einer negativen Brechkraft, einer vierten Linse L4 mit einer positiven Brechkraft, einer fünften Linse L5 mit einer positiven Brechkraft und einer sechsten Linse L6 mit einer positiven Brechkraft, wobei die folgenden Bedingungsausdrücke (1) und (2) erfüllt werden: 0,17 < D2/f < 0,80(1) –60 < vd1 – vd2 < –15(2)wobei D2: der Abstand auf der optischen Achse zwischen der ersten Linse und der zweiten Linse ist f: die Brennweite des gesamten Systems ist vd1: die Abbe-Zahl der ersten Linse bezüglich der d-Linie ist vd2: die Abbe-Zahl der zweiten Linse bezüglich der d-Linie ist. |