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Entsprechend einer Ausführungsform umfasst eine Datenkompensationsvorrichtung eine Temperaturmesseinheit, eine Positionsmesseinheit und eine Berechnungseinheit. Die Temperaturmesseinheit misst eine Umgebungstemperatur in einer Umgebung einer Bearbeitungsvorrichtung. Die Positionsmesseinheit misst eine vorab festgelegte Position einer Komponente der Bearbeitungsvorrichtung. Die Berechnungseinheit berechnet einen Geometriefehler-Kompensationswert, welcher zu einer jeden einer Vielzahl von Umgebungstemperaturen gehört, auf der Basis der durch die Temperaturmesseinheit gemessenen Umgebungstemperatur, der durch die Positionsmesseinheit gemessenen Position der Komponente und der vorab festgelegten Position der Komponente. |
