| 摘要 |
이 부품의 제조 방법은, 한쪽 면이 니켈로 이루어지는 기판을 이용하고, 상기 한쪽 면 상에 주석을 주성분으로 하는 합금막을 스퍼터법에 의해 형성하는 공정 A1과, 상기 합금막 상에 적어도 상기 합금막과의 접촉 부위가 구리 및 니켈 피복된 알루미늄 중 어느 하나로 이루어지는 부품을 올려놓는 공정 A3과, 상기 기판과 상기 합금막 사이 및 상기 합금막과 상기 부품 사이를 각각 접합하기 위해 열처리를 실시하는 공정 A4를 적어도 차례대로 구비하는 부품의 제조 방법으로서, 상기 공정 A1에서 감압 분위기로 한 공간 내에 주석을 주성분으로 하는 합금 타겟을 마련한 캐소드 전극과 상기 기판을 마련한 애노드 전극을 대향하여 배치하고, 상기 기판의 상기 한쪽 면 상에 상기 합금막을 형성할 때에 상기 캐소드 전극에 DC전압을 인가한다. |
