一种非真空的步进通过式快速硒化装置及利用其实现的硒化方法

摘要

本发明公开了一种非真空的步进通过式快速硒化装置，包括工艺腔室，所述工艺腔室利用门闸分割为顺次排列的装载腔、加热腔、保温腔、冷却腔和卸载腔，所述加热腔和保温腔设置有加热单元、鼓风单元和抽气单元，所述加热单元包括均匀分布于所述加热腔和保温腔内部的电热丝以及上下两排卤素灯，所述鼓风单元和抽气单元均设置有用以将工艺气体格栅化的格栅板，本发明同时公开了利用非真空的步进通过式快速硒化装置实现的硒化方法。本发明实现了扩散气体流场均匀性的高效控制，实现了扩散工艺温度和温升的高效控制，在保证大面积硒化均匀性的前提下，通过快速硒化有助于生产效率的大幅提升。

主权项

一种利用非真空的步进通过式快速硒化装置实现的硒化方法，所述硒化装置包括工艺腔室，所述工艺腔室利用门闸分割为顺次排列的装载腔、加热腔、保温腔、冷却腔和卸载腔，所述装载腔、加热腔、保温腔、冷却腔和卸载腔内均设置有相互配合的、用以承载待硒化基板的传动辊；其特征在于：所述加热腔和保温腔设置有加热单元、鼓风单元和抽气单元，所述加热单元包括均匀分布于所述加热腔和保温腔内部的电热丝以及上下两排卤素灯；所述鼓风单元设置于所述加热腔和保温腔的一侧，包括将工艺气体格栅化的进气格栅板，所述进气格栅板设置于所述加热腔和保温腔的腔室内；所述抽气单元设置于所述加热腔和保温腔与所述鼓风单元相对的一侧，包括抽气机、导流板和出气格栅板，所述抽气机的进气口利用导流板引至腔室内，且导流板的上游位置设置有所述出气格栅板；所述硒化方法包括如下步骤：(1)向装载腔、加热腔、保温腔、冷却腔和卸载腔内充入惰性气体，内部气压高于外界气压，而且保证装载腔、冷却腔和卸载腔内气压相等，并大于加热腔以及与加热腔等压的保温腔；(2)将工艺气体预热，利用鼓风单元和抽气单元实现工艺气体在所述加热腔和保温腔内部强制循环；将电热丝加热升温至240‑260℃；利用卤素灯加热至所述加热腔和保温腔的腔室内温度为520‑580℃；(3)利用传动辊承载待硒化的基板顺次通过装载腔、加热腔、保温腔、冷却腔和卸载腔，即得到硒化后的基板。