涂覆的X-射线窗口

摘要

一种X-射线窗口包括主窗口元件（22）和辅助窗口元件（70）。为了通过电阻加热蒸发碎片，电流流过辅助（上游）窗口元件。同时，由电子照射和/或沉积的带电粒子引起的电荷将被从窗口元件排出。为了防止大的碎片粒子短路窗口元件，并改变所希望的加热模式，用于加热窗口元件的电流流过与电荷漏层（76）绝缘的层（72）。

主权项

一种用于将环境压力区域(14)与减压区域(10)分开的X‑射线窗口(1)，所述窗口包括：对X‑射线透明的主窗口元件(22)，所述对X‑射线透明的主窗口元件将所述环境压力区域与中间区域(12)分开；辅助窗口元件(70)，所述辅助窗口元件将所述中间区域与所述减压区域分开，所述辅助窗口元件包括面向所述减压区域用于接收沉积在其上的污染物的一侧(78)；及加热装置(26，28，30)，所述加热装置用于在所述辅助窗口元件的区域之间施加电压，从而蒸发沉积在其上的污染物，其特征在于，所述辅助窗口元件包括：电绝缘层(74)；电荷漏层(76)，所述电荷漏层面向所述减压区域，并被连接到电荷接收器；以及加热器层(72)，所述加热器层与所述电荷漏层电绝缘，其中，在其之间施加电压的所述辅助窗口元件的所述区域位于所述加热器层中。