| 摘要 |
본 발명의 일태양의 패턴 검사 장치는, 동일한 패턴이 형성된 복수의 다이가 배치된 피검사 시료의 복수의 다이의 광학 화상을 취득하는 광학 화상 취득부와, 해상되지 않는 비해상 패턴이 형성된 비해상 패턴 영역을 식별 가능한 비해상 패턴 영역 정보를 이용하여, 비해상 패턴 영역에 위치하는, 다이의 광학 화상을 복수의 서브 광학 화상으로 분할하는 서브 광학 화상 분할부와, 비해상 패턴 영역에 대하여, 동일한 다이의 광학 화상으로부터 분할된 복수의 서브 광학 화상끼리 화소마다 비교하는 제1 비교부와, 상이한 다이의 광학 화상끼리 화소마다 비교하는 제2 비교부를 구비한 것을 특징으로 한다. |
