发明名称 半导体元件
摘要 半导体元件。半导体元件包括基底、多数个堆叠结构以及多数个支撑层。堆叠结构位于基底上,相邻两个堆叠结构之间具有沟渠。每一堆叠结构包括多数个导体层以及多数个介电层。介电层与导体层相互交替。支撑层分别位于堆叠结构之中。
申请公布号 TW201611224 申请公布日期 2016.03.16
申请号 TW103130930 申请日期 2014.09.09
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 杨儒兴;龙成一
分类号 H01L23/52(2006.01);H01L21/28(2006.01) 主分类号 H01L23/52(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;叶璟宗
主权项 一种半导体元件,包括: 一基底; 多数个堆叠结构,位于该基底上,相邻两个堆叠结构之间具有一沟渠,其中每一堆叠结构包括: 多数个导体层;以及 多数个介电层,与该些导体层相互交替;以及 多数个支撑层,分别位于该些堆叠结构之中。
地址 新竹市东区新竹科学工业园区力行路16号