氧化铟奈米柱及其制造方法

摘要

氧化铟奈米柱的制造方法，其包括以下步骤：提供高温炉，其中高温炉分为第一区以及第二区；将至少一铟金属源放置于第一区，且将基板放置于第二区；将第一区的温度调变至第一温度，且将第二区的温度调变至第二温度，其中第一温度高于第二温度；以及当第一区的温度达到第一温度，且第二区的温度达到第二温度时，于高温炉中通入氩气以及氧气，其中氩气与氧气比落在30：1至70：1的范围内，以令多个氧化铟奈米柱形成于基板上。另提供一种氧化铟奈米柱。

主权项

一种氧化铟奈米柱的制造方法，包括：提供一高温炉，该高温炉分为一第一区以及一第二区；将至少一铟金属源放置于该第一区，且将一基板放置于该第二区；将该第一区的温度调变至一第一温度，且将该第二区的温度调变至一第二温度，其中该第一温度高于该第二温度；以及当该第一区的温度达到该第一温度，且该第二区的温度达到该第二温度时，于该高温炉中通入氩气以及氧气，其中氩气与氧气比落在30：1至70：1的范围内，以令多个氧化铟奈米柱形成于该基板上。