用于使化学液与基板表面均匀反应的方法及其设备

摘要

一种用于使化学液与基板表面均匀反应的方法及其设备，用以供一化学反应盒进行化学反应；该设备至少包括一输送单元，输送单元又包含多个由横向排列的旋转体所构成，以对所述化学反应盒提供一输送方向进行横向往复的输送；其中，各旋转体对所述化学反应盒进行横向往复的输送中，以一渐进升降手段而与化学反应盒接触。

主权项

一种用于使化学液与基板表面均匀反应的方法，用以供一化学反应盒于反应液进行化学反应，其特征在于，以一包含多个旋转体的输送单元，对所述化学反应盒提供一输送方向进行横向往复的输送，且于输送的过程以一相对所述输送方向为侧向摇晃方法而使各该旋转体与所述化学反应盒接触，其中，该多个旋转体分别设于轴上，该轴依所述输送方向并列排置，且各该轴上至少具有二所述旋转体，各该轴近其左、右二侧的所述旋转体具有相位差；或者，该多个旋转体的外径，由其轴的一端至另一端呈由大至小、或由小至大的排列，以透过各自转动来改变与所述化学反应盒接触的高度位置而产生摇晃。