发明名称 |
用于制造包括TCO层的光伏电池的改良方法 |
摘要 |
本发明是针对一种用于制作光伏装置的方法,该方法包括:在衬底上沉积一个TCO层,并且通过具有多个照射参数的激光照射来使该TCO层退火,其特征在于,这些照射参数被选择成使得该退火包括与刚沉积好的TCO层相比,增加该TCO层的光雾百分比。另外,本发明是针对一种TCO层,其具有的光雾百分比为可见光波长范围中至少2%,并且具有的表面粗糙度小于0纳米RMS。另外,本发明是针对一种包括这类TCO层的光伏装置。 |
申请公布号 |
CN102934240B |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
CN201180027753.6 |
申请日期 |
2011.04.18 |
申请人 |
艾思科集团有限公司 |
发明人 |
蒂埃里·埃默罗 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/0224(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 |
代理人 |
宁晓;郑霞 |
主权项 |
一种用于制作光伏装置的方法,该方法包括:‑在衬底上沉积一个TCO层,‑与刚沉积好的TCO层相比,增加该TCO层的光雾百分比,其特征在于,增加光雾百分比的步骤包括激光退火,该激光退火具有的光束能量密度在0.1焦耳/cm<sup>2</sup>与10焦耳/cm<sup>2</sup>之间。 |
地址 |
比利时哈瑟尔特 |