发明名称 用于制造包括TCO层的光伏电池的改良方法
摘要 本发明是针对一种用于制作光伏装置的方法,该方法包括:在衬底上沉积一个TCO层,并且通过具有多个照射参数的激光照射来使该TCO层退火,其特征在于,这些照射参数被选择成使得该退火包括与刚沉积好的TCO层相比,增加该TCO层的光雾百分比。另外,本发明是针对一种TCO层,其具有的光雾百分比为可见光波长范围中至少2%,并且具有的表面粗糙度小于0纳米RMS。另外,本发明是针对一种包括这类TCO层的光伏装置。
申请公布号 CN102934240B 申请公布日期 2016.03.16
申请号 CN201180027753.6 申请日期 2011.04.18
申请人 艾思科集团有限公司 发明人 蒂埃里·埃默罗
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/0224(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人 宁晓;郑霞
主权项 一种用于制作光伏装置的方法,该方法包括:‑在衬底上沉积一个TCO层,‑与刚沉积好的TCO层相比,增加该TCO层的光雾百分比,其特征在于,增加光雾百分比的步骤包括激光退火,该激光退火具有的光束能量密度在0.1焦耳/cm<sup>2</sup>与10焦耳/cm<sup>2</sup>之间。
地址 比利时哈瑟尔特