薄膜晶体管基板及其制造方法以及使用其的有机发光显示装置

摘要

公开了一种有利于改善薄膜晶体管的输出和传输特性的薄膜晶体管基板、其制造方法以及使用其的有机发光显示装置，其中所述薄膜晶体管基板包括：薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括位于基板上的下栅极电极、位于所述下栅极电极上的有源层、位于所述有源层上的源极和漏极电极、以及位于所述源极电极、漏极电极和有源层上的上栅极电极，所述上栅极电极覆盖由所述源极和漏极电极界定的沟道区域；和将所述下栅极电极与所述上栅极电极电连接的接触部。

主权项

一种薄膜晶体管基板，包括：薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括位于基板上的下栅极电极、位于所述下栅极电极上的有源层、位于所述有源层上的源极和漏极电极、以及位于所述源极电极、漏极电极和有源层上的上栅极电极，所述上栅极电极覆盖由所述源极和漏极电极界定的沟道区域；和将所述下栅极电极与所述上栅极电极电连接的接触部，其中所述接触部由与所述源极和漏极电极相同的材料形成，且其中所述薄膜晶体管进一步包括：夹在所述下栅极电极与所述有源层之间的栅极绝缘层，所述栅极绝缘层具有暴露所述下栅极电极的第一接触孔；和夹在所述上栅极电极与所述源极/漏极电极之间的第一钝化层，所述第一钝化层具有暴露所述接触部的第二接触孔，其中所述接触部至少填充所述第一接触孔，所述上栅极电极至少填充所述第二接触孔，所述下栅极电极和所述接触部通过所述第一接触孔彼此接触，所述上栅极电极和所述接触部通过所述第二接触孔彼此接触。