液体喷出装置的制造方法和液体喷出装置

摘要

一种液体喷出装置的制造方法和液体喷出装置，该液体喷出装置包括形成有与喷嘴连通的压力室的流路形成部以及压电致动器，该压电致动器具有以覆盖所述压力室的方式被设置在所述流路形成部的振动膜、与所述压力室对应地配置于所述振动膜的压电膜、被配置于所述压电膜的所述振动膜侧的面的第一电极、被配置于所述压电膜的与所述振动膜相反一侧的面的第二电极以及与所述第二电极连接的布线。该液体喷出装置的制造方法包括：布线形成工序，以所述布线的一部分覆盖所述压电膜的方式形成所述布线；电极形成工序，在所述布线形成工序之后，在所述压电膜的与所述振动膜相反一侧的面，以与所述布线导通的方式形成所述第二电极。

主权项

一种液体喷出装置的制造方法，该液体喷出装置包括：流路形成部，形成有与喷嘴连通的压力室；以及压电致动器，该压电致动器具有：振动膜，以覆盖所述压力室的方式被设置在所述流路形成部；压电膜，与所述压力室对应地配置于所述振动膜；第一电极，被配置于所述压电膜的所述振动膜侧的面；第二电极，被配置于所述压电膜的与所述振动膜相反一侧的面；以及布线，与所述第二电极连接，所述液体喷出装置的制造方法包括以下工序：布线形成工序，以使所述布线的一部分覆盖所述压电膜的方式形成所述布线；以及电极形成工序，在所述布线形成工序之后，在所述压电膜的与所述振动膜相反一侧的面，以与所述布线导通的方式形成所述第二电极。