| 发明名称 | 膜厚度测量装置和膜厚度测量方法 | ||
| 摘要 | 提供一种膜厚度测量装置和方法，膜厚度测量装置包括：太赫兹波发生器(19)；棱镜(21)，该棱镜具有入射面(69)、邻接面(70)和出射面(71)，该邻接面(70)能够与包括第一膜(31a)的样品(3)的形成有第一膜(31a)的一侧上的表面邻接；太赫兹波检测器(23)，该太赫兹波检测器(23)检测从棱镜(21)的出射面(71)出射的、样品(3)的反射波的S-偏振分量和P-偏振分量；以及控制部(6)，该控制部(6)构造成基于反射波的S-偏振分量的时间波形与反射波的P-偏振分量的时间波形之间的差来确定形成在样品(3)中的第一膜(31a)的厚度。 | ||
| 申请公布号 | CN105403178A | 申请公布日期 | 2016.03.16 |
| 申请号 | CN201510564718.8 | 申请日期 | 2015.09.07 |
| 申请人 | 丰田自动车株式会社 | 发明人 | 高柳顺;大竹秀幸;相京秀幸;藤沢泰成;锅岛淳男 |
| 分类号 | G01B15/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B15/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 魏金霞;高源 |
| 主权项 | 一种膜厚度测量装置，其特征在于包括：太赫兹波发生器(19)，所述太赫兹波发生器(19)产生太赫兹波；棱镜(21)，所述棱镜(21)具有入射面(69)、邻接面(70)和出射面(71)，使从所述赫兹波发生器(19)出射的所述太赫兹波经由所述入射面(69)入射，所述邻接面(70)能够与包括第一膜(31a；31d)的样品(3)的形成有所述第一膜(31a；31d)的一侧上的表面邻接，从所述样品(3)反射的反射波自所述出射面(71)出射；太赫兹波检测器(23)，所述太赫兹波检测器(23)检测自所述棱镜(21)的所述出射面(71)出射的所述反射波的S‑偏振分量和P‑偏振分量；以及控制部(6)，所述控制部(6)构造成基于所述反射波的所述S‑偏振分量的时间波形与所述反射波的所述P‑偏振分量的时间波形之间的差来确定形成在所述样品(3)中的所述第一膜(31a；31d)的厚度。 | ||
| 地址 | 日本爱知县丰田市 | ||