发明名称 |
一种硼扩散炉及其炉门 |
摘要 |
本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门,包括石英炉门本体,该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连,且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘,所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘,该石英挡盘的直径与炉管的直径相等,并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内,因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触,大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置,这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应,延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度,因此也就延长了炉门的使用寿命。本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。 |
申请公布号 |
CN205088336U |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
CN201520844608.2 |
申请日期 |
2015.10.28 |
申请人 |
英利能源(中国)有限公司 |
发明人 |
胡亚男;戎帅 |
分类号 |
C30B31/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C30B31/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
李海建 |
主权项 |
一种硼扩散炉的炉门,包括石英炉门本体(1),其特征在于,还包括与所述石英炉门本体(1)的内端面相连,且在所述石英炉门本体(1)关闭时嵌入炉管(4)内的石英挡盘(2),所述石英挡盘(2)的直径与所述炉管(4)的直径相等。 |
地址 |
071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 |