发明名称 |
一种热纳米压印装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种热纳米压印装置,主要包括:压力腔1、真空腔2、加热盘3、隔热垫4、找平机构5、压印组合6等六大部分组成。压力腔1与真空腔2通过铰链相连接,通过安全扣203进行锁死,密封圈进行密封;真空腔2装有接触传感器202。当压力腔与真空腔闭合时,压印程序才能提供压力,进行纳米压印过程,最终在PMMA,PC,PET等高分子薄膜上形成均匀的亚微米结构。 |
申请公布号 |
CN205091541U |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
CN201520768338.1 |
申请日期 |
2015.10.07 |
申请人 |
南京鹏派新材料科技有限公司 |
发明人 |
不公告发明人 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种热纳米压印装置,其特征在于,主要包括:压力腔(1)、真空腔(2)、加热盘(3)、隔热垫(4)、找平机构(5)、压印组合(6)等六大部分组成;其中压力腔(1)与真空腔(2)通过铰链相连接,通过安全扣(203)进行锁死,真空腔(2)装有接触传感器(202)。 |
地址 |
210028 江苏省南京市栖霞区和燕路371号东南大学科技园科创楼C405 |