发明名称 一种热纳米压印装置
摘要 本实用新型公开了一种热纳米压印装置,主要包括:压力腔1、真空腔2、加热盘3、隔热垫4、找平机构5、压印组合6等六大部分组成。压力腔1与真空腔2通过铰链相连接,通过安全扣203进行锁死,密封圈进行密封;真空腔2装有接触传感器202。当压力腔与真空腔闭合时,压印程序才能提供压力,进行纳米压印过程,最终在PMMA,PC,PET等高分子薄膜上形成均匀的亚微米结构。
申请公布号 CN205091541U 申请公布日期 2016.03.16
申请号 CN201520768338.1 申请日期 2015.10.07
申请人 南京鹏派新材料科技有限公司 发明人 不公告发明人
分类号 G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种热纳米压印装置,其特征在于,主要包括:压力腔(1)、真空腔(2)、加热盘(3)、隔热垫(4)、找平机构(5)、压印组合(6)等六大部分组成;其中压力腔(1)与真空腔(2)通过铰链相连接,通过安全扣(203)进行锁死,真空腔(2)装有接触传感器(202)。
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