基板载体系统及应用其之方法

摘要

一种基板载体系统。基板载体系统包括一基板载体、一电极组件、一支撑基材及一控制器。基板载体具有一基板支撑表面及配置于基板载体的电极组件。电极组件包括数个侧向分隔的电极组。各电极组包括互相交错的一第一电极与一第二电极。支撑基材支撑基板载体。控制器用以：从此些电极组中选择此些电极组的一第一群及此些电极组的一第二群；操作此些电极组之第一群于一第一夹持模式；同时操作此些电极组之第二群于一第二夹持模式；以及，选择性地将至少一电极组从第一群切换至第二群。

主权项

一种基板载体系统，包括：一基板载体，具有一基板支撑表面；一电极组件，配置于该基板载体，该电极组件包括复数个侧向分隔的电极组，各该电极组包括互相交错的一第一电极与一第二电极；一支撑基材，支撑该基板载体；以及一控制器，用以：从该些电极组中选择该些电极组的一第一群及该些电极组的一第二群；操作该些电极组之该第一群于一第一夹持模式；同时操作该些电极组之该第二群于一第二夹持模式；及选择性地将至少一电极组从该第一群切换至该第二群。