| 发明名称 |
用于转移有用层之方法 |
| 摘要 |
明揭示一种用于将一有用层(3)转移至一支撑件(4)上之方法，其包含以下主要步骤：透过以轻物种植入至一第一基板(1)中之一方式形成一脆化平面(2)，使得在此平面与该第一基板(1)之一表面之间形成一有用层(3)；将该支撑件(4)施加至该第一基板(1)之该表面上以形成具有两个经曝露侧(S1、S2)之一待破裂总成(5)；对该待破裂总成(5)进行热脆化处理；在该第一基板(1)中沿着该脆化平面(2)起始且自持式传播一破裂波。
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| 申请公布号 |
TW201611085 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104112125 |
申请日期 |
2015.04.15 |
| 申请人 |
梭意泰科公司;法国原子能与替代能源委员会 |
发明人 |
兰德鲁 戴迪尔;肯侬恰克 欧雷格;班 摩汉默 纳迪亚;玛西 达米安;曼森 费德列克;列托德 法兰乔斯 |
| 分类号 |
H01L21/02(2006.01);H01L27/12(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种用于将一有用层(3)转移至一支撑件(4)上之方法，其包含以下主要步骤：透过以轻物种植入至一第一基板(1)中之一方式形成一脆化平面(2)，使得在此平面与该第一基板(1)之一表面之间形成一有用层(3)；将该支撑件(4)施加至该第一基板(1)之该表面上以形成具有两个经曝露侧(S1、S2)之一待破裂总成(5)；对该待破裂总成(5)进行热脆化处理；在该第一基板(1)中沿着该脆化平面(2)起始且自持式传播一破裂波；该方法之特征在于该待破裂总成(5)之该等侧(S1、S2)中之至少一者在一接触区域上与一吸收性元件(6a、6b)紧密接触，该吸收性元件适合用于捕获及耗散在该破裂波之该起始及/或传播期间发射之声振动。
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| 地址 |
法国;法国 |
