发明名称 |
MEMS部品を有するオーバーモールドされたデバイスおよび製造方法 |
摘要 |
1つの基板と1つのチップ部品と1つのMEMS部品とを備えたデバイスが提案され、このデバイスでは機械的に壊れやすいMEMS部品が1つの半殻の下で基板上に取り付けられている。このデバイスはトランスファ成形処理で成形材によってカプセル封止されている。【選択図】 図2 |
申请公布号 |
JP2016508075(A) |
申请公布日期 |
2016.03.17 |
申请号 |
JP20150552000 |
申请日期 |
2013.10.23 |
申请人 |
エプコス アクチエンゲゼルシャフトEPCOS AG |
发明人 |
パール, ヴォルフガング |
分类号 |
B81B7/02;B81C3/00;H01L25/00 |
主分类号 |
B81B7/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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