发明名称 |
用于永久连接两个金属表面的方法 |
摘要 |
本发明涉及用于永久连接两个金属表面的方法。本发明涉及用于在第一衬底的包括金属和非金属区域的第一表面和第二衬底的包括金属和非金属区域的第二表面之间制造永久的导电连接的方法,具有如下方法步骤:处理第一和/或第二表面,使得在连接表面时制造至少主要由于在表面的金属区域的金属离子和/或金属原子之间的置换扩散而产生的永久的导电连接,定向和键合第一和第二表面,其中在处理、定向和键合期间不超过最大300℃的过程温度。 |
申请公布号 |
CN105405779A |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
CN201510912169.9 |
申请日期 |
2011.02.23 |
申请人 |
EV 集团 E·索尔纳有限责任公司 |
发明人 |
M.温普林格;V.德拉戈伊 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
臧永杰;刘春元 |
主权项 |
用于在第一衬底的包括金属和非金属区域的第一表面和第二衬底的包括金属和非金属区域的第二表面之间制造永久的导电连接的方法,具有如下方法步骤:-处理第一和/或第二表面,使得在连接表面时制造至少主要由于在表面的金属区域的金属离子和/或金属原子之间的置换扩散而产生的永久的导电连接,-定向和键合第一和第二表面,其中在处理、定向和键合期间不超过最大300℃的过程温度。 |
地址 |
奥地利圣弗洛里安 |