发明名称 |
氧基三端电阻切换逻辑装置 |
摘要 |
了一种氧基三端电阻切换逻辑装置及制造氧基三端电阻切换逻辑装置的方法。在一第一实例中,一种三端电阻切换逻辑装置包括一主动区,设置于一基板上方。主动区包括一主动氧化物材料区,直接设置于一金属源极区与一金属汲极区之间。装置也包括一闸极电极,设置于主动氧化物材料区上方。在一第二实例中,一种三端电阻切换逻辑装置包括一主动区,设置于一基板上方。主动区包括一第一主动氧化物材料区,与一第二氧化物材料区隔开。装置也包括金属输入区,设置于第一和第二主动氧化物材料区的任一侧上。金属输出区系设置于第一和第二主动氧化物材料区之间。
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申请公布号 |
TW201611246 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
TW104115885 |
申请日期 |
2015.05.19 |
申请人 |
英特尔股份有限公司 |
发明人 |
卡波夫 艾利洁;马吉 普瑞斯韩特;皮拉瑞斯提 拉维;道尔 布莱恩;穆可吉 尼洛依;沙 乌戴;乔 罗伯特 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01);H01L29/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
主权项 |
一种三端电阻切换逻辑装置,包含:一主动区,设置于一基板上方,该主动区包含一主动氧化物材料区,直接设置于一金属源极区与一金属汲极区之间;及一闸极电极,设置于该主动氧化物材料区上方。
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地址 |
美国 |