| 发明名称 |
感光性树脂组合物 |
| 摘要 |
明之感光性树脂组合物包含：硷可溶性聚合物(A)、具有选自由丙烯醯基及甲基丙烯醯基所组成之群中之至少1种基的化合物(B)、聚合起始剂(C)、及分解起始温度为60℃以上且未达140℃之热酸产生剂(D)。
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| 申请公布号 |
TW201610578 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104125464 |
申请日期 |
2015.08.05 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
白川政和 |
| 分类号 |
G03F7/028(2006.01);H01L21/027(2006.01);G02F1/1333(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/028(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种感光性树脂组合物，其包含：硷可溶性聚合物(A)、具有选自由丙烯醯基及甲基丙烯醯基所组成之群中之至少1种基的化合物(B)；聚合起始剂(C)、及分解起始温度为60℃以上且未达140℃之热酸产生剂(D)。
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| 地址 |
日本 |
