固态图像拾取设备和用于制造固态图像拾取设备的方法

摘要

本发明涉及固态图像拾取设备和用于制造固态图像拾取设备的方法。提供一种用于制造固态图像拾取设备的方法，所述固态图像拾取设备包括：包含光电转换部的基板；和被布置于基板上的波导，所述波导与光电转换部对应并且包含芯部和覆层，所述方法包括：第一步骤和第二步骤，其中，在第一步骤和第二步骤中，通过高密度等离子体增强化学气相沉积，在覆层中的开口中形成要被形成为芯部的部件，并且，在第一步骤之后，在第二步骤中，在基板的背面侧的射频功率与基板的正面侧的射频功率的比率比第一步骤中的该比率高的条件下，通过高密度等离子体增强化学气相沉积，形成要被形成为芯部的部件。

主权项

一种用于制造固态图像拾取设备的方法，所述固态图像拾取设备包括：包含光电转换部的基板，和被布置于基板上的波导，所述波导与所述光电转换部对应并且包含芯部和覆层，所述芯部包含覆盖所述覆层的一部分的第一部件和覆盖第一部件的第二部件，所述芯部包含硅氮化物，所述方法包括：第一步骤和第二步骤，其中，在第一步骤中，通过具有上部电极和下部电极的高密度等离子体增强化学气相沉积装置在所述覆层中的开口中形成第一部件，并且，其中，在第一步骤之后，在第二步骤中，在所述下部电极的射频功率与所述上部电极的射频功率的比率高于第一步骤中的该比率的条件下，通过所述高密度等离子体增强化学气相沉积装置形成第二部件。