用于薄基板搬运的静电载体

摘要

本文所提供的实施方式大体涉及静电卡盘(ESC)。静电卡盘可包括减少数目的应力起始点，诸如穿过静电卡盘的孔，此举可改良静电卡盘的机械完整性。设置在静电卡盘中的电极可经由导电导线连接至电触点及电源，这些导电导线可被耦接成或形成为沿着静电卡盘的外围边缘。由此，可减少或消除对形成于静电卡盘中的孔的需求。此外，气体通道可形成于顶表面、底表面或顶表面与底表面两者上。气体通道可减少或消除对形成为穿过静电卡盘的气体通道的需求，及可有助于基板支撑件、静电卡盘与耦接至静电卡盘的基板之间的热传递。

主权项

一种静电卡盘，所述静电卡盘包括：实质刚性支撑层，所述刚性支撑层具有底表面，所述底表面界定所述静电卡盘的底部；第一电极；介电层，所述介电层具有顶表面，所述顶表面界定所述静电卡盘的顶部，所述第一电极设置于所述介电层的所述顶表面与所述支撑层之间，其中所述支撑层、所述第一电极及所述介电层形成整体主体；第一连接器，所述第一连接器耦接至所述第一电极并暴露于所述静电卡盘的所述底部；及第一导线，所述第一导线连接所述第一连接器及所述第一电极，所述第一电极形成于所述支撑层及所述介电层的外围表面上。