一种具备利用高频的自清洗装置的质量分析装置

摘要

在从试样离子化装置（离子源）导入试样时，离子化不充分的试样滞留在导入部细孔以外的部位，通过热等能量，作为氧化物乃至碳化物等生成物堆积。该堆积的生成物成为质量分析装置的性能劣化的原因。本发明的质量分析装置具备：试样供给源、对从试样供给源供给的试样进行离子化的试样离子化部、导入离子化后的试样离子的试样导入抑制室、成为试样导入抑制室的下游的差动排气室、成为差动排气室的下游侧的分析部，该质量分析装置的特征在于，具备：放电生成单元，其在试样导入抑制室、上述差动排气室的至少一方的内部生成放电。另外，放电生成单元具有在试样导入抑制室中相对设置的相对的试样导入部电极和第一细孔部用构件（电极）、乃至在上述差动排气室中相对设置的第一细孔部用构件（电极）和第二细孔部用构件（电极）。

主权项

一种具备利用高频的自清洗装置的质量分析装置，具备试样供给源、对从上述试样供给源供给的试样进行离子化的试样离子化部、导入进行离子化后的试样离子的试样导入抑制室、成为上述试样导入抑制室的下游的差动排气室、成为上述差动排气室的下游的分析部，其特征在于，所述自清洗装置包括放电生成单元，所述放电生成单元在上述试样导入抑制室、上述差动排气室的至少一方的内部利用高频进行放电，其中，上述放电生成单元具有在试样导入抑制室中相对设置的试样导入部电极和第一细孔部用构件电极、以及在上述差动排气室中相对设置的第一细孔部用构件电极和第二细孔部用构件电极，所述质量分析装置还具备辅助气体或药液的导入部，上述辅助气体或药液的导入部一边导入促进堆积物的分解的气体和药液，上述放电生成单元一边进行放电。