多晶硅生产氢化炉尾气冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种能够控制尾气温度降低程度的多晶硅生产氢化炉尾气冷却装置。该多晶硅生产氢化炉尾气冷却装置，包括U形管换热器、U形外壳，U形外壳与U形管换热器的外壁之间形成一个密封的夹层空间，U形外壳上设置有与夹层空间连通的冷却水入口与冷却水出口，冷却水入口处连接有进水管，冷却水出口处连接有排水管，进水管上设置有水泵与流量控制阀，进水管上设置有进水温度检测装置，排水管上设置有出水温度检测装置。通过在进水管上设置进水温度检测装置，在排水管上设置出水温度检测装置，人们便可以根据进水温度与出水温度判断热交换的程度，便于人们精确的控制尾气温度的降低程度。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

多晶硅生产氢化炉尾气冷却装置，包括U形管换热器(1)、U形外壳(2)，U形管换热器(1)设置在U形外壳(2)内，U形外壳(2)与U形管换热器(1)的外壁之间形成一个密封的夹层空间(3)，所述U形外壳(2)的底部设置有与U形管换热器(1)内部连通的尾气入口(4)，U形管换热器(1)的顶部设置有尾气出口(5)，所述U形外壳(2)上设置有与夹层空间(3)连通的冷却水入口(6)与冷却水出口(7)，所述冷却水入口(6)处连接有进水管(8)，所述冷却水出口(7)处连接有排水管(9)，其特征在于：所述进水管(8)上设置有水泵(11)与流量控制阀(12)，所述进水管(8)上设置有进水温度检测装置(13)，所述排水管(9)上设置有出水温度检测装置(14)。