使用电子束装置的即时对准方法

摘要

于互补式电子束微影术(CEBL)之微影装置和关于互补式电子束微影术之方法被描述。在实施例中，一种位于电子束工具的平台上之晶圆的即时对准方法，该方法关于从晶圆的底层图形特征收集反向散射电子，而该电子束工具的电子束行在该平台的扫描期间写入，藉由配置在该电子束行底部的电子检测器执行该收集，该方法也关于基于该收集执行相对于该电子束行之平台的对准校正。

主权项

一种位于电子束工具的平台上之晶圆的即时对准方法，该方法包括：从该晶圆的底层图形特征收集反向散射电子，而该电子束工具的电子束行在该平台的扫描期间写入，藉由配置在该电子束行底部的电子检测器执行该收集；以及基于该收集执行相对于该电子束行之该平台的对准校正。