静电换能器可靠性分析方法和系统

摘要

本发明涉及一种静电换能器可靠性分析方法和系统，对静电换能器的输入电极和偏置电极施加偏置电压；根据预设的冲击量级对静电换能器施加冲击载荷，进行机械冲击。在机械冲击过程中监测静电换能器的输入电极与输出电极之间的电阻值；调节所述偏置电压的幅值，并在电阻值从无穷大到有限值跳变时，测量得到当前冲击量级下静电换能器产生误触发的最小偏置电压并输出。实现在一定的机械冲击条件下，获得会导致可动平板下拉而产生误触发的最小偏置电压，支撑静电换能器的抗冲击设计以及对机械冲击和静电力耦合所引起的误接触动作的预测和预防等，提高了静电换能器的稳定性和可靠性。

主权项

一种静电换能器可靠性分析方法，其特征在于，包括以下步骤：对静电换能器的输入电极和偏置电极施加偏置电压，所述偏置电压大于所述静电换能器的保持电压并小于所述静电换能器的下拉电压；根据预设的冲击量级对所述静电换能器施加冲击载荷，进行机械冲击；在机械冲击过程中监测所述静电换能器的输入电极与输出电极之间的电阻值；调节所述偏置电压的幅值，并在所述电阻值从无穷大到有限值跳变时，测量得到当前冲击量级下所述静电换能器产生误触发的最小偏置电压并输出。